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半导体当今世界,半导体、平板显示器(FPD)、太阳能电池等领域的技术革新正取得惊人的进歩。半导体装置向高集成化方向发展,其电路的最小宽度从45纳米向32纳米缩小。而FPD,则向大型化的方向发展,正在进行第8代(2500毫米×2300毫米)到第10代产品的设备投资。随之而来的,是对半导体制造装置及FPD制造装置等所使用的轴承、直动式产品、机电一体化产品的功能要求越来越高,如低发尘性、低排气性、耐热性、耐蚀性等。 NSK扩充了有效运用材料技术、润滑技术、清洁技术、表面改质技术、精密导向技术等NSK独自的核心技术开发出的可在真空、清洁、高温、腐蚀等工况下使用的“SPACEA™系列: 特殊工况用轴承、滚珠丝杠、直线导轨”的产品阵容,在为各种装置的高功能化及高性能化做贡献的同时,还致力于解决环保课题。 个人电脑和智能手机的使用率已经增长到 70% 以上,基于物联网的家用电器和其他产品的互联网连接现已成为现实。这些设备必不可少的半导体仍在不断发展,需要进一步的小型化、更高的集成度和更低的功耗。 连接信息和人的液晶显示器也在以类似的方式发展。开发新的元件和显示方法可以实现更高的图像质量、更低的功耗、更薄的形式和更轻的重量。半导体和液晶制造设备中使用的轴承和直线运动滚动导轨,对高刚性、高精度、高速、耐热、耐腐蚀和低发尘等性能的。 半导体/液晶制造设备液晶玻璃3D输送线 液晶玻璃3D输送粗切线将LCD中使用的玻璃基板转移到划线、分割、检测等工序。通过使用环形输送台,大大增加了生产量。为了顺利输送液晶玻璃,直线运动滚动导轨必须具有高刚性和高安装精度。 玻璃基板搬运机器人 玻璃基板搬运机器人是通过制造和检查工序搬运液晶等平板显示器用玻璃基板的关节型机器人。与在每个关节中包含电机的传统类型机器人相比,该机器人使用的电机更少,因此减轻了手臂的重量。这意味着支撑支点的轴承必须具有较高的承载能力和刚度。 相关产品: 直线运动滚动导轨 直线滚子导轨 Super X 系列IKO直线滚柱导轨Super X是一种高性能滚柱式直线运动滚动导轨,4列平衡良好的圆柱滚子平行排列在高刚性外壳中。这允许平稳运行、高可靠性、稳定的高精度和刚性。即使在承受重负荷或变动负荷的情况下,弹性变形小且稳定,适用于振动或冲击时。型号有多种性能和尺寸可供选择,并可根据应用进行选择。 C-Lube 直线滚子导轨 Super MXC-Lube 直线滚柱导轨 Super MX 将 C-Lube 润滑融入到直线滚柱导轨 Super X 中。对于机床和半导体/液晶相关制造设备等要求高负载能力和运行精度的应用,可以实现同样的高性能,但使用 C-Lube 也可以实现长期、免维护的性能。这通过减少运行成本和润滑所需的工作时间来降低整个系统的成本。直线滚子导轨 Super X可互换可提供互换规范。由于滑动单元和滑轨尺寸是分开的,每个都可以单独添加或更换。 滑块长度提供四种横截面尺寸相同但滑块长度不同的类型:短型、标准型、长型和超长型。每个都可以根据应用进行选择。 法兰式和块式滑动单元的形状包括可以从顶部或底部安装的法兰型和窄块型。 与球型的尺寸兼容性由于安装尺寸与滚珠型直线导轨 H 相同,因此易于包含在机器和设备的规格中。 不锈钢也可提供具有优异耐腐蚀性的不锈钢类型。它们非常适合用于医疗设备、各种光盘读取器和半导体制造设备的洁净室。 1.免维护仅在 C-Lube 中使用润滑油即可在不供油的情况下运行超过 20,000 公里。此外,润滑脂预先填充在滑动单元中,因此可以实现长期免维护。 2.生态由于 C-Lube 中的润滑油以保持滚动导轨润滑性能所需的量供应,因此减少了润滑油的消耗,即使在长时间运行时也能保持润滑性能。 3.紧凑由于 C-Lube 直线导轨和 C-Lube 直线滚柱导轨与润滑部件 C-Lube 集成在一起,因此它们的滑动单元不像带有外部润滑部件的类型那样长。传统零件的更换很容易,不受安装空间和行程长度的限制。 4.顺滑C-Lube 直线导轨和 C-Lube 直线滚柱导轨与与滑轨接触的滑动单元外部的润滑部件不同,不会产生滑动阻力。驱动力随动性好,通过提高精度和减少摩擦损失节省能源。 |